关于反射镜真空镀膜的真空测量

2019-12-05 点击数：1845

现代真空技术的发展使人们现已能够丈量从大气压一直到10-12Pa的真空压强，在这其中，反射镜真空镀膜技术也是不断的发展中，当然只运用一种真空计完成在这么广泛的区间内的丈量作业是不可能的，因此人们常常运用几种真空计别离完结各自规模的真空丈量。

下面分别介绍一下反射镜真空镀膜厂家真空镀膜机上常用的几种真空计：

a. 热偶真空计和皮拉尼真空计
在必定规模内，气体的热传导率是压力的函数，这便是热偶真空计和皮拉尼真空计的丈量原理。
热偶真空计采用直接丈量温度变化的方法来进行作业。在加热电流维持恒守时，假如气体压强降低，则气体热传导系数削减，热偶作业端的温度升高，相应的热电动势即要增加，经过压强和电动势的联系即可确认出系统的压强。
皮拉尼真空计和热偶真空计相同也常用做中等真空规模的丈量。皮拉尼真空计有一个玻璃或金属外壳，壳内装有高温电阻系数的金属丝(如铂、钨等)，随着压强的降低，灯丝的温度及其电阻值就会升高，根据测得的电阻值即可直接得到压强的值了。
b. 冷阴极电离真空计
冷阴极电离真空计亦称潘宁真空计。当放电管在低于10毫巴的压强下作业时，因为气体分子稀少电子从阴极飞向阳极的过程中很少与气体分子磕碰，因此电流与气体的压强不发生联系。但假如在电子运动的垂直方向加一强磁场，则电子运动的轨道即变成螺旋形，这样电子电离气体分子的时机就大大增加了，甚至在非常低的气体密度下，也能有大量的气体被电离。当阳极电压和磁场强度皆为恒守时，关于必定的气体成分来说，离子电流与压强直接相关，这便是冷阴极离真空计作业的原理。
以上就是对于真空镀膜机上的几种真空计的测量分析，希望对大家有所帮助。

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